| 仕様 |
電源： ＡＣ１００V（単相１００V１０A）アース付き３Pプラグ １口
ロータリーポンプ： １０Ｌ／ｍｉｎ（装置に内蔵）
装置サイズ： 幅２００mmｘ奥行き３５０ｍｍｘ高さ３４５ｍｍ（装置重量：１４．６Ｋｇ）
試料室サイズ： 内径１２０ｍｍｘ高さ６５ｍｍ（硬質ガラス）
試料台サイズ： 直径５０ｍｍ（フローティング方式）
電極－試料台間隔： ３５ｍｍ（補助試料台使用時２５ｍｍ）
ターゲット電極： 永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極
ターゲット金属仕様： Φ５１ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ Ｐｔ、Ｐｔ－Ｐｄ、Ａｕ、Ａｕ－Ｐｄ、Ａｇ
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